第1607章 多重曝光（第2/2页）

他指了指图上复杂的透镜排布：

“您看，这是典型的全折射式设计，依靠大量高精度透镜的组合来聚焦光线，而现在主流先进的浸没式光刻机，用的都是更复杂、更精密，但也更强大的折反式物镜组，能结合反射镜和折射镜的优势。”

提起这段历史，人群中的气氛一时间有些微妙。

一直安静旁听的周学此时也开口补充道：

“虽然最后也没亲自下场造出光刻机，但这段早期的研发投入也不算白费……我们对光刻工艺本质的理解主要来源于这个阶段，也后来快速吸收和掌握设备，还有攻坚生产工艺打下了基础。”

常浩南凝视着那张略显泛黄的图纸，手指在展示框的玻璃上轻轻划过那些代表透镜的圆形轮廓和代表光路的射线，若有所思地点了点头。

还有一些问题，他本来是打算再去一趟长光所看看的。

但现在看来，似乎省事了。